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微通(tōng)道的冷板真空釺焊
發布時間:2022-11-18
本文涉及通過釺焊具有細(xì)突起(10至1000μm)的薄金(jīn)屬板來製造具有微通道(dào)的冷板(bǎn)的方法,更具體地說(shuō),涉及使用微通道製造微通道的方法。具有複雜突起和釺焊的薄板,以及使用電鍍或(huò)氣相沉積(jī)層的釺焊鍵合方法 傳統上,應用於半導體製造工(gōng)藝的蝕刻(蝕(shí)刻)技術已被應用於製造薄金屬板中的微通道,這在生產率和經濟性方(fāng)麵是不利的。通過壓力機與精密模具和激光束和電子束加工相結合,通過應用於行業內精密零件批量生產的(de)激光束和電子束加工,通過化學或電化學方法去除絕緣基板上不必要的金屬部(bù)分, 如上所述(shù),在還原氣氛的連續爐中釺焊方法用(yòng)於(yú)連接金屬薄板(bǎn)。在金屬薄板具有細突起或微流路的情況下,由於要施加的釺料金屬的量(liàng)不能[敏感詞]調節,因此經常產生由於微流體堵塞現象引起的缺陷,不適合批量生產。這樣的常(cháng)規問題[敏感詞]個目的是提供一種低(dī)成本的(de)大規模生產方(fāng)法,通過衝壓加工,通過使用精密(mì)模具進行衝壓加工、後處理、激光和電子束加工來製造具有細突起和微通道的薄金屬板,還有具有微通道的(de)金屬箔的製造方法,該方法能夠通過(guò)均勻電鍍或氣相沉積來執(zhí)行真空釺焊粘合(hé)工藝。 用於釺焊粘合到(dào)粘接部分所需的填料量,以及使(shǐ)用電鍍或氣相沉積層(céng)的釺焊粘合方法。本文的第二個目的是(shì)提供一種形成精(jīng)細圖案的方法,該方法不能單獨通過一般機械加工、壓力機或激光或電子束來完成,在具有精細圖案的薄金屬板上形成均勻填料的電鍍層或氣(qì)相沉積層,從而可以在連(lián)接(jiē)時將缺陷率降至[敏感詞]。還提供(gòng)一種製造高精度機械部件的方法以及一種使用電鍍或氣相(xiàng)沉(chén)積層(céng)製造(zào)釺焊接頭的方法(fǎ)本發(fā)明(míng)提供了一種製造具有可實際供應的細通道的金屬箔的方法以及(jí)使用電鍍或氣相沉積層的釺焊方法。
通過使用精密金屬模具和(hé)激光或電子(zǐ)束加工通過壓力機加工加工精細圖案例如細突起(qǐ)和/或(huò)微流路的(de)步驟;形成銀,鎳,銀等精細圖案的步驟,形成由銀或銅合金組(zǔ)成的釺焊填充金屬(shǔ)的電鍍或氣相沉積層,加熱金屬箔(bó)板的[敏感(gǎn)詞]和第二板,同時保持彼此的對齊程度並將其施加到(dào)真空釺焊爐上,直到填料的電(diàn)鍍或沉積層為m埃爾特;冷卻金屬箔和箔以在箔和箔之間形成固相界麵的步驟,其(qí)中具有微通道的金屬箔被製造並使(shǐ)用電鍍或氣相沉積層(céng)進行釺焊方法。
通過激光或電子(zǐ)束掃描處理尺寸為10至1000μm的(de)超(chāo)細突起,並通過銑削或鍛造對薄金屬(shǔ)板的(de)粘合表麵進行後精加工。上(shàng)述負極材料電解、化(huà)學鍍或真空氣相沉(chén)積形成的鍍層為20μm真空釺焊爐的真空度(dù)在10-3至10-6托的範圍內,加熱(rè)溫度在700至1200°C的(de)範圍內,具體(tǐ)取決於填料的種(zhǒng)類, [敏感詞]金屬板和第二金屬板可以形成浮雕或雕(diāo)刻形狀,以便彼此保持對齊(qí)並相互齧合。冷卻步(bù)驟可以通過冷卻金屬板2至6小時來執(zhí)行,同時保持真空度,以使金屬板不變形或改變。
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