眾所周知，在目前的技術狀態下，鋁的真空釺焊通過以下（xià）方式進行：

要釺焊在一起的部件設置在具有類似於傳統烤箱結構（gòu）的烘箱內，用（yòng）於在金屬真（zhēn）空中進行熱處理，所述部件至少在要進（jìn）行釺焊的（de）水平上具有共晶化合物（wù）的電鍍，例如具有鋁（lǚ）和矽基;同時（shí），芯片或晶圓形（xíng）式的鎂被放置在（zài）這些部件附近;

然後在烘箱中（zhōng）以約10@-4至5.times.10@6毫巴的壓力提供（gòng）相對真空;

然後加熱烤箱直到獲得（dé）釺焊溫度（500°C.至600°C之間）。

在加熱過程中，首先（xiān）通（tōng）過（guò）鎂的氧化（燃燒）獲得氧氣吸收效果（吸氣效應），該氧化（吸氣效應）始於約350°C的溫度。這（zhè）種對氧氣（qì）的吸收更特別地防止（zhǐ）在待處理部件上形成氧化鋁，尤其（qí）是在釺焊發生的水平上。該（gāi）反應還導致水蒸氣的消除（水（shuǐ）的還原）。

這種技術雖然效果很（hěn）好，但缺點主要是：

不僅在鎂表麵而且在整個烤箱內部容積中強烈形成氧化鎂（由於（yú）鎂的蒸發）;結果（guǒ）是氧化（huà）鎂對烤（kǎo）箱的（de）汙染，氧化鎂在烤箱的打開階段會進（jìn）一（yī）步吸收空氣的濕度，然後必須經常清潔後者;

濕度;事實上，烘（hōng）箱內存在水蒸氣（qì），特別是由於（yú）氧（yǎng）化（huà）鎂的濕度導致通常使用油蒸氣擴散的普通（tōng）真空泵運行不良，並且（qiě）需要更（gèng）長的（de）時間才能達（dá）到處理（lǐ）壓力，能耗增加;

過量消耗鎂，鎂是一種相對昂貴的金屬。

本文提（tí）出克服這些缺點。

它提（tí）供了（le）上述類型的處理爐，但還包括用於支撐烤箱（xiāng）內鎂的裝（zhuāng）置（zhì），以（yǐ）及獨（dú）立於用於獲（huò）得（dé）釺焊溫度的加熱（rè）裝置加（jiā）熱該鎂的裝置。

因（yīn）此，可以控製鎂（měi）的加熱並將其加熱到吸收烤箱內氧氣量（liàng）所需的水平。

因（yīn）此，避免（miǎn）了氧化（huà）鎂（měi）的過度形成，特別是避免了高溫下產生的鎂蒸（zhēng）氣產生的氧化鎂。很明顯，因此獲得了可觀的鎂節省，並且大大減少了烤箱的汙染。

此外，通過事先加熱氧化鎂，可（kě）以在泵送之前和/或期間消除水蒸氣，從（cóng）而提高泵的效率，並大大減少達到處理壓力的時間。

另一個特征，烘箱包（bāo）括伺服控製（zhì）裝置，用於（yú）控製加熱鎂的裝置的功率，作為烘箱內氣氛成分的（de）函數，特別是作為其氧和水蒸（zhēng）氣（qì）含量的函數。

優選實施例的說明（míng）

如圖所（suǒ）示，該烘箱包括基本上為圓柱形形狀的（de）密封外殼1，可通過未示出的密封門進入其內部（bù）。

該外殼1以本身已知（zhī）的方式連接到能（néng）夠形成相對真空的泵（bèng）送裝置（未示出），其量級為10@-4至5.times.10@-6毫巴。

烘（hōng）箱內待處理部件的加（jiā）熱通過使用加熱裝置進行輻射來實（shí）現（xiàn），加熱裝置包括（kuò）：

一個基（jī）本上平行六麵體形狀的熱外殼2，其壁形成熱屏（píng），並定義一個中央體積V，其中設置了（le）要處（chù）理的部件（jiàn），該熱（rè）外殼是光學封閉的，但（dàn）相對於烤箱中所含的氣體沒有密封（fēng）;和

電加（jiā）熱電阻4平行於所述壁麵設置，在熱外（wài）殼2內部。

這些電阻4連接到烤箱外部的電源（未顯示），整體能（néng）夠將要（yào）釺焊的零件加（jiā）熱到650°C量級的溫度。

烘箱還包括，在外殼1內部但在熱外殼2的外部，設置用於加熱鎂的輔助加熱裝（zhuāng）置，例如以晶（jīng）片或芯片的形式，獨立於加熱要處理的（de）部件的加（jiā）熱電阻4。

在所示的示例中（zhōng），這些輔助（zhù）加熱裝置由兩個加熱電阻網絡5、6組成，它們平行於熱外殼2的垂（chuí）直壁延伸。

這些電阻5，6由（yóu）格子壁7，8保護鎂晶片9，9'固定（dìng）在其（qí）上。然後，加熱電阻5，6的電源由電源電（diàn）路提供電流，其功率根據烤箱內存（cún）在的（de）氣體成分的性質，特別是其氧（yǎng）氣和水蒸氣含量進行控製。

為此，該電源電路包括電源10和調節裝置11，其控製施加到電阻5、6的功率作為（wéi）對烘（hōng）箱內存在的氣體成分的分析結果的函數，並由分析（xī）儀12提供。後者通過（guò）配備有泵14的采樣回路13接收存在於烘箱內的氣體的樣品。

很明顯，使用該設備（bèi），可以獨立於要釺（qiān）焊的零（líng）件的加熱3來加熱鎂（板9，9'），從而在（zài）泵送之前和（hé）/或泵送期間根據需要在所需時間產生吸氣劑效應。

此外，通過調節這種加熱作為氧氣的函數（shù），烘箱內大氣中的水蒸氣含量，氧（yǎng）化鎂的產生以及鎂的消耗可（kě）以減少到[敏感詞]必要的水（shuǐ）平。

當然，如果有必要，可以將鎂處理（lǐ）在零件3附近，以完全去除烤（kǎo）箱（xiāng）中的氧氣和水蒸氣（qì）。

在所示的示例中，同（tóng）時用作電阻4支撐的（de）熱外殼2在外側由更輕且（qiě）易於拆卸的外殼15加倍。第二個外殼以細線顯示（shì），用作外（wài）殼（ké） 2 的熱屏（píng）蔽和鎂阱。處理完成後，可以很容易地將其取（qǔ）出然後清潔。